光干渉厚さ計

アプリケーション

光学フィルムコーティング、ソーラーウェーハ、超薄ガラス、粘着テープ、マイラーフィルム、OCA 光学接着剤、フォトレジストなどを測定します。


製品詳細

製品タグ

この装置は接着工程で使用する場合、接着タンクの後ろ、オーブンの前に設置して、接着厚さのオンライン測定と離型フィルムコーティング厚さのオンライン測定を行うことができます。非常に高精度で幅広い用途があり、特に、必要な厚さがナノメートルレベルまでの透明な多層物体の厚さ測定に適しています。

製品の性能/パラメータ

測定範囲:0.1μm~100μm

測定精度:0.4%

測定再現性:±0.4 nm(3σ)

波長範囲:380 nm~1100 nm

応答時間: 5~500ミリ秒

測定範囲:1mm~30mm

動的走査測定の再現性:10 nm


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