光干渉厚さ計

アプリケーション

光学フィルムコーティング、ソーラーウエハー、極薄ガラス、粘着テープ、マイラーフィルム、OCA光学接着剤、フォトレジストなどを測定します。


製品の詳細

製品タグ

接着プロセスで使用する場合、この装置は接着タンクの後ろとオーブンの前に設置でき、接着厚さのオンライン測定と剥離フィルムのコーティング厚さのオンライン測定を非常に高精度で幅広い用途に行うことができ、特に適しています。ナノメートルレベルまで必要な厚さの透明多層物の厚さ測定に。

製品の性能/パラメータ

測定範囲:0.1μm~100μm

測定精度:0.4%

測定再現性:±0.4nm(3σ)

波長範囲:380nm~1100nm

応答時間: 5~500ms

測定スポット:1mm~30mm

ダイナミックスキャン測定の再現性:10nm


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