光干渉厚さ計
接着プロセスで使用する場合、この装置は接着タンクの後ろとオーブンの前に設置でき、接着厚さのオンライン測定と剥離フィルムのコーティング厚さのオンライン測定を行うことができ、非常に高精度で幅広い用途に特に適しています。ナノメートルレベルまで必要な厚さの透明多層物の厚さ測定に。
製品の性能/パラメータ
測定範囲:0.1μm~100μm
測定精度:0.4%
測定再現性:±0.4nm(3σ)
波長範囲:380nm~1100nm
応答時間: 5~500ms
測定スポット:1mm~30mm
ダイナミックスキャン測定の再現性:10nm
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