光学的干渉厚さ計

アプリケーション

光学フィルムコーティング、太陽電池ウェハー、超薄型ガラス、粘着テープ、マイラーフィルム、OCA光学接着剤、フォトレジストなどの測定。


製品詳細

商品タグ

接着工程で使用する場合、この装置は接着槽の後ろ、オーブンの前に設置でき、接着厚さのオンライン測定、および剥離フィルムコーティング厚さのオンライン測定が可能です。非常に高い精度と幅広い用途を持ち、特にナノメートルレベルまでの厚さが要求される透明な多層物体の厚さ測定に適しています。

製品性能/パラメータ

測定範囲:0.1μm~100μm

測定精度:0.4%

測定再現性:±0.4 nm(3σ)

波長範囲:380 nm ~ 1100 nm

応答時間:5~500ms

測定範囲:1mm~30mm

動的スキャン測定の再現性:10 nm


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