レーザー厚さ計
測定の原則
厚さ測定モジュール:2つの相関レーザー変位センサーで構成されています。これらの2つのセンサーは、測定対象物の上面と下面の位置をそれぞれ測定し、計算によって測定対象物の厚さを取得します。
L: 2つのレーザー変位センサ間の距離
A: 上部センサーから測定対象物までの距離
B: 下部センサーから測定対象物までの距離
T: 測定対象物の厚さ
装備のハイライト
技術的パラメータ
| 名前 | オンラインレーザー厚さ計 | オンラインワイドレーザー厚さ計 |
| スキャンフレームの種類 | C型 | O型 |
| センサーの数 | 変位センサー1セット | 変位センサー2セット |
| センサー解像度 | 0.02μm | |
| サンプリング周波数 | 50kHz | |
| スポット | 25μm*1400μm | |
| 相関 | 98% | |
| スキャン速度 | 0~18m/分、調整可能 | 0~18m/分、調整可能( 単一センサーの移動速度、0~36 m/分) |
| 繰り返し精度 | ±3σ≤±0.3μm | |
| CDMバージョン | ゾーン幅1mm、繰り返し精度3σ≤±0.5μm、厚さ信号のリアルタイム出力、応答時間遅延≤0.1ms | |
| 総合的なパワー | 3kW未満 | |
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